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FreeDATA

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Sur FreeDATA

Ensemble d’analyse de données de microlithographie capable d’adapter les ensembles de données de type Bossung, également connus sous le nom de matrices d’exposition de mise au point. Mots-clés: Lithographie, Photolithographie, Photorésist, Fenêtre de processus, Dimension critique, CD, Bossung, FEM

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